ObaVakuumska črpalka in kompresorso naprave za obdelavo plina, vendar so njihova delovna načela in obseg uporabe različna.
Glavna funkcija vakuumske črpalke je odstranjevanje plina iz reakcijske komore, da se zmanjša tlak v posodi, da doseže vnaprej določeno stopnjo vakuuma. Plin izvlečemo iz prostora s sesanjem in izpušnimi mehanizmi, da nastane vakuumsko stanje. Vakuumske črpalke se običajno uporabljajo v laboratorijih, proizvodnih in proizvodnih poljih. V rezini, oprema za jedkanje, opremo za odlaganje, litografsko opremo EUV, opremo za ionsko implantacijo, opremo za zaznavanje in karakterizacijo itd. Vse je treba vse odpraviti.
Funkcija kompresorja je, da vdihnete plin in ga stisnete, povečate tlak plina, stisnete plin v manjši volumen in povečate gostoto in tlak plina. Njeno delovno načelo je, da se plin stisne skozi izpušni ventil, nato pa stisnjeni plin vstavite v rezervoar za plin ali drugo opremo. Kompresorji se običajno uporabljajo pri predelavi in proizvodnih poljih. Plin CDA, o katerem pogosto govorimo, zagotavlja kompresor. CDA se uporablja za nadzor različne opreme in ventilov za avtomatizacijo. Za proizvodnjo polprevodnikov mora biti CDA zelo čista in suha. Izhod zraka s kompresorjem mora skozi prefinjen filtracijski sistem, da odstrani olje, vlago in druge delce, da se zagotovi, da ni kontaminacije rezin.
Katere so kategorijeVakuumska črpalka in kompresor?
V polprevodniški opremi se običajno uporabljajo suhe črpalke in molekularne črpalke. Suha črpalka se nanaša na vakuumsko črpalko, ki ne uporablja nobene tekočine kot tesnilnega ali hladilnega medija, pri čemer se izogne težavam z oljno paro. Na splošno se uporablja za grobo ekstrakcijo polprevodniške opreme. Molekularne črpalke lahko dosežejo izjemno visoke ravni vakuuma. Suhe črpalke in molekularne črpalke se v kombinaciji v polprevodniški opremi pogosto uporabljajo za potrebe različnih vakuumskih ravni.
Kompresorje lahko razdelimo na bat, vijak, centrifugalno, rotacijsko kompresorji zraka itd.
Zaradi različnih modelov in delovnih načel vakuumske črpalke in kompresorja vakuumske črpalke običajno ne morejo nadomestiti kompresorjev. Čeprav lahko vakuumske črpalke zmanjšajo tlak in gostoto plinov, ne morejo stisniti plinov na manjše količine in večje tlake. Poleg tega so zaradi omejenih zmogljivosti in delovnih značilnosti vakuumskih črpalk najbolj primerni za ravnanje s plini z nizko gostoto in okoljem z nizkim pritiskom.
Če je treba plin stisniti v manjši volumen in višji tlak, je treba uporabiti kompresor. Nasprotno, če je treba plin izvleči in oblikovati vakuumsko stanje, je treba uporabiti vakuumsko črpalko.
Čeprav obojeVakuumska črpalka in kompresorso naprave, ki se uporabljajo za obdelavo plina, obstajajo velike razlike v načelu oblikovanja in delovanja. Čeprav lahko vakuumska črpalka zmanjša tlak in gostoto plina, ne more nadomestiti kompresorja, še posebej, če je treba plin stisniti v manjši volumen in višji tlak.
